하이닉스, M11 청주 공장 완공

8월까지 월 2만장 300㎜ 웨이퍼 양산

5일 하이닉스반도체 청주 M11공장에서 열린 장비 반입식 행사에서 김종갑 대표이사와 관계자들이 1호기 앞에서 기념 촬영을 있다.

ⓒ 김태훈 기자

하이닉스반도체가 300㎜ 팹인 청주 M11 공장을 완공하고 장비 반입으로 양산 준비를 마쳤다.

5일 하이닉스반도체는 김종갑 대표이사를 비롯, 이완근 신성이엔지 회장 등 내외부인사가 참석한 가운데 장비 반입식을 갖고 고밀도 플라즈마(High Density Plasma) 공정에 쓰이는 국산 HDP 양산 준비에 들어갔다.

청주 M11 공장은 대지면적 10만8천697m², 건축면적 5만5천805m²규모로 지난해 4월 1일 단지 철거를 시작으로 본격적인 공장 건설을 시작해 지난달 26일부터는 팹 가동에 있어 핵심이라고 할 수 있는 클린룸을 정상 가동시켰다.

M11 공장은 40나노급 초미세공정을 도입해 수요처가 급속히 확대되고 있는 고용량 낸드플래시 제품을 주력으로 생산한다. 우선 8월까지 월 2만장의 웨이퍼를 본격 양산할 예정이며, 시황에 따라 점진적으로 생산량을 늘려 내년부터는 30나노급 미세공정까지 확대 도입해 최대 10만장의 생산량을 확보할 계획이다.

이날 김종갑 대표이사는 “세계 최고의 투자 효율성을 갖춘 M11 300㎜팹을 완공해 업계 최고의 경쟁력을 갖추게 됐다”며 “중장기 목표인 2010년 글로벌 탑3 실현을 위한 또 하나의 기반을 마련했다”고 밝혔다.

한편, 하이닉스반도체의 M11 공장은 ‘도심 속 친환경 팹’운영을 목표로 대기처리장치 등 환경 관련 시설을 더욱 강화했으며, 일반인들이 반도체 제조공정 및 팹에 대해 쉽게 이해할 수 있도록 ‘반도체 팹 체험 홍보관’을 운영할 예정이다.

/ 최영덕 기자 [e-mail]