에이엘티(ALT), '열충격 없는' SiC웨이퍼 후공정 절삭 공법 특허 출원

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［충북일보］ 22일 충북지역은 무더위 속 소나기가 내리며 대체로 흐린날씨를 보이겠다. 이날 충북 대부분 지역은 최고 체감온도가 33도 안팎으로 올라 매우 무덥겠다. 충북 전역에는 지난 20일부터 줄곧 '폭염특보'가 내려진 상태다. 오전부터 오후 사이 충북 대부분 지역에 비가 내리겠다. 도내 예상 강수량은 30~80㎜다. 청주기상지청에 따르면 아침 최저기온은 충주 24도·청주 25도 등 22~25도고, 낮 최고기온은 충주·청주 32도 등 31~33도다. 미세먼지 농도는 '좋음(0~30㎍/㎥)'으로 예보됐다. / 임성민기자
［충북일보］ 청주의 한 아파트서 흉기를 들고 서성이며 주민들을 위협한 50대 남성이 검찰에 넘겨졌다. 청주상당경찰서는 특수협박 혐의로 A씨를 구속 송치했다고 21일 밝혔다. A씨는 지난 10일 오후 7시 46분께 청주시 상당구 영운동의 한 아파트에서 흉기를 들고 위층 복도로 올라가 아파트 주민을 위협한 혐의를 받고 있다. 이웃 주민의 신고를 받고 출동한 경찰은 A씨를 현행범으로 체포했다. A씨는 경찰 조사에서 "위층에서 드릴 소리가 계속 들려 화가 나서 그랬다"고 진술한 것으로 알려졌다. 경찰 관계자는 "흉기 난동 범죄에 대해선 단호하고 엄정한 대응을 하고 있다"며 "유사 범죄가 발생시 초기부터 총력을 다해 범행을 저지할 것"이라고 말했다. / 임성민기자
［충북일보］ 21일 충북지역은 무더위 속 소나기가 내리겠다. 이날 충북 대부분 지역은 최고 체감온도가 33도 안팎으로 올라 무덥겠다. 온열질환 발생 가능성이 있으므로 수분·염분을 충분히 섭취하고 격렬한 야외활동을 가급적 자제해야겠다. 오후와 저녁 사이 충북 지역에서 빗방울이 떨어지는 곳도 있겠다. 도내 예상 강수량은 5~60㎜다. 청주기상지청에 따르면 아침 최저기온은 충주 24도·청주 25도 등 24~25도고, 낮 최고기온은 충주 32도·청주 33도 등 32~33도다. 미세먼지 농도는 '좋음(0~30㎍/㎥)'으로 예보됐다. / 임성민기자
［충북일보］ 18일 오후 4시40분께 충주시 산척면 한 하천에서 50대 남성 A씨가 물에 빠졌다. 소방당국은 2시간여 만에 물속에서 심정지 상태인 A씨를 인양해 병원으로 옮겼지만 숨졌다. A씨는 지인과 낚시를 하러 왔다가 변을 당한 것으로 알려졌다. 경찰과 소방당국은 정확한 사고 원인을 조사 중이다. 충주 / 윤호노기자
［충북일보］ 청주의 한 중학교에서 학생이 동급생을 둔기로 폭행하는 사건이 발생해 경찰이 수사에 나섰다. 18일 경찰 등에 따르면 지난 16일 오후께 청주 한 중학교 교실에서 A(16)군이 같은 반 학생 B군의 머리 등을 둔기로 때렸다. 머리 등에 상처를 입은 B군은 병원으로 옮겨져 치료를 받았고 현재는 퇴원한 것으로 알려졌다. 학교 측은 해당 사건이 발생하자 경찰에 신고한 뒤 A군을 등교 중지 조치했다. 경찰은 정확한 사건 경위를 조사한 뒤 A군을 입건할 계획이다. 학교 측은 A군을 향후 학교폭력심의위원에 회부할 방침이다. / 임성민기자
［충북일보］ 청주의 한 크레인 제조 공장에서 노동자가 사망하는 사고가 발생해 경찰과 노동당국이 수사에 나섰다. 경찰과 소방당국에 따르면 지난 17일 오전 8시 30분께 청주시 청원구 내수읍의 한 크레인 제조 공장에서 50대 트레일러 기사 A씨가 3.5t의 철제 구조물에 깔렸다. 이 사고로 중상을 입은 A씨는 인근 병원으로 옮겨졌지만 숨졌다. 당시 A씨는 적재함에서 구조물을 내리는 작업 중에 변을 당한 것으로 알려졌다. 해당 사업장은 상시 근로자 50인 미만으로, 중대재해처벌법 적용 대상은 아닌 것으로 확인됐다. 경찰과 노동당국은 정확한 사고 경위와 산업안전보건법 위반 여부 등을 조사하고 있다. / 임성민기자
［충북일보］ 술에 취해 편의점 주인에게 흉기를 휘두른 30대가 경찰에 붙잡혔다. 음성경찰서는 특수상해 혐의로 30대 남성 A씨를 입건해 조사 중이라고 17일 밝혔다. A씨는 지난 17일 오전 4시 40분께 음성군 맹동면의 한 편의점에서 40대 점주 B씨에게 흉기를 휘두른 혐의를 받고 있다. A씨는 물건을 구매하는 과정에서 B씨가 자신에게 불친절하게 대했다는 이유로 자택에서 흉기를 가져와 휘두른 것으로 조사됐다. 신고를 받고 출동한 경찰은 A씨를 현행범으로 체포했다. 당시 A씨는 B씨에게 제압당한 상태였던 것으로 알려졌다. B씨는 몸싸움 과정에서 경상을 입었지만 다행히 크게 다치지 않은 것으로 알려졌다. 경찰은 정확한 사건 경위 등을 조사한 뒤 A씨에 대한 구속영장을 신청할 예정이다. / 임성민기자

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에이엘티(ALT), '열충격 없는' SiC웨이퍼 후공정 절삭 공법 특허 출원

성지연 기자wldus2916@gmail.com

웹출고시간2023.08.21 17:34:30
최종수정2023.08.21 17:34:30

Ring Cut(Rim Cut)

ⓒ 에이엘티(ALT) 홈페이지

［충북일보］ 비메모리 반도체 후공정 테스트 전문기업 에이엘티(ALT)는 '열 충격이 없는 SiC(실리콘카바이드) 웨이퍼 후공정 절삭(Dicing) 장치 및 공법'에 대한 특허를 출원했다고 21일 밝혔다.

충북 청주 오창산단에 소재한 에이엘티는 이미 Si(실리콘) 반도체에 적용되는 Rim-Cut(림컷) 기술을 상용화했다.

이를 기반으로 차세대 전력반도체인 SiC에 응용할 수 있는 첨단 기술을 상용화하기 위해 이번 특허를 출원했다.

에이엘티에 따르면 이번 기술은 웨이퍼 절단 시 웨이퍼에 가해지는 열적 손상과 웨이퍼의 표면에 오염물질이 안착하는 것을 최소로 한다. 이를 통해 절단 유효영역, 스크라이브 레인(Scribe Lane·웨이퍼 절단부)의 폭을 최소화해 수율을 극대화할 수 있다.

에이엘티 관계자는 "회사는 선제적 기술개발로 고객 니즈를 극대화하고 있다"며 "고온·고전압 환경에서 유리하고, 전력 효율이 높은 SiC 반도체는 전기차·신재생 발전설비 등 성장산업 분야에서 주로 사용되고 있다. 산업 발전과 함께 수요가 급격히 증가할 것으로 예상된다"고 말했다.

/ 성지연기자

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